主要特性
· 測量參數(shù):R(直流電阻)、I(直流電流)、ps(表面電阻率),pv(體電阻率)。
· 測量范圍:電阻1*103Ω 至 1x1015Ω;電流1pA至100uA。
· 測量速度:*快9.5ms的測量時間。
· 基本測量精度:2%。
· 4個通道,可用于多個被測件,4個通道可同時測試。
· 接觸檢查功能:可以檢測測試夾具與器件之間的接觸故障,2毫秒/點,保證可靠的測試
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